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手術(shù)室凈化濕度過產(chǎn)生的問題多。相對(duì)濕度過55時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50時(shí)易生銹。此外，濕度太時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清 除。相對(duì)濕度越,粘附的難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度30時(shí)，又由于靜電力的使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)較佳溫度范圍為35—45。