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塵區(qū)域相對于周圍空間有一定的負壓，防止粉塵擴散開來，以至危害其他工序的潔凈度；采取排風罩等措施將工藝產塵排走，盡可能減少擴散到生產車間的粉塵量；車間機械設備的軸承、齒輪、傳動皮帶等運動部件在工作過程中，由于潤滑油升溫炭化及機械磨損等原因而散發(fā)到空氣中的塵埃，越來越引起某些凈化工程設計的關注。凈化工程設計在集成電路生產中，隨著集成度的提高，要求生產環(huán)境控制0.1tm塵粒達到1級或更嚴的潔凈度，為了減少潔凈室建造費用并可靠地達到高級別要求，目前許多大規(guī)模集成電路工廠采用微環(huán)境技術和生產工藝自動化技術，采用機械手、機器人，從而減少了室內人員等因素，使室內產塵總量下降。在此情，況下，這些機械運動設備的產塵量和生產過程的產塵量所占份額就不斷提高。但一般潔凈室在通常情況下，室內最主要的污染源仍然是人。

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